技术规格

外形尺寸：                      W640×H710×D710mm

腔体内部尺寸：               W170×H170×D200mm

等离子激发频率：            微波，2.45GHz

微波功率:                         50W到300W可调

MFC控制的工艺气路：     标准1路，包括质量流量计和控制电磁阀等

电源：                             230V，50/60Hz，0.5kw（不含真空泵）

功率：                             2.2kVA

控制单元：                       触屏PLC控制器

真空规管：                       Pirani

重量：                              350KG

主要应用：                       半导体材料表面有机玷污物去除和表面活性增强

选项配置：

• 真空泵

• 臭氧过滤器

• 额外工艺气路

• 散料样品用旋转载台

• 微波源侧装
  

• 软启动和慢速填充

• 其他定制选件
  

产品特点

• USB接口

• 以太网接口

• 远程维护（VPN）

• 微波源上装

• 易操作的图形化界面

  
  桌上型微波等离子清洗机V6-G，采用优化的集成PLC工艺控制系统，特别适合研发和小规模生产等领域的需求