加工定制:是 | 品牌:美国CTS | 型号:CTS-6U |
用途:人工合成钻石,金刚石材料制备 | 别名:微波等离子化学气相沉积系统 |
美国CTS人工合成钻石MPCVD微波等离子化学气相沉积系统详细介绍
CVD金刚石的应用极为***,主要应用于热沉、光电子、光通讯、激光、红外窗口、高温高频半导体材料、首饰等。主要利用MPCVD装置,通过同质外延的方法将小颗粒天然金刚石作为“钟子”,长大成为大颗粒的宝石级单进金刚石,然后进行加工后可作为光彩夺目的钻石,这种以小长大的方法大大节约了***。
CTS-6U 6kW 微波等离子金刚石CVD系统具有高度可重复的真空完整性设计特点,能够在接近大气压范围内运行,用于高沉积速率的单晶工艺。它还可以合成高纯度的高均匀性和大面积的单晶和多晶。腔室、观察窗和沉积台的设计与***计算机过程控制相结合,具有无人值守的安全互锁功能,可以获得高可靠性、长时间稳定性。CTS-6U是***的CVD金刚石反应器,为满足高产量、高质量、高***的生产和***研发要求而设计。