D9600

设备分类：实验室、研发型

该系列设备具备灵活性，能进行细致检查，应用于失效分析、工艺改进、材料定性分析、产量较低的产线筛选或实验室检测。
该设备具有反射及透射两种模式，是声像显微技术的常用方法。


D9600Z

其中D9600Z系统采用探头倒置的方法，具备了底部喷水和干燥功能，让产品在保持表面和内部干燥的情况下仅底部与水接触也能完成扫描和失效分析。该功能为一些大功率电源器件如IGBT等提供了解决方案。该设备更是具备双探头扫描功能，大大提高了检测效率。

主要功能 ：
 

• 线性马达驱动探头，成像更精准

• ***的扫描台和样品固定架

• PolyGate功能，每个通道可设置多达100个Gate，能同时收集100层感兴趣的区域数据，包括能量、色谱、波形等，并生成100张图像

• Multi-Gate和Probing-Gate功能允许单层或多层聚焦成像

• STaR模式能同时获得反射和透射两种图像

• Quantitative B-Scan Analysis Mode (Q-BAM)基于B-Scan提供切层的极性,幅值和深度数据

• 可选Digital Image Analysis (DIA)数字图像分析自动计算出缺陷大小、数目、多少和分布

• 可选Waterfall流水式探头和在线温度控制

• 可选VRM样品虚拟建模脱机扫描模式

• 可选FDI频域成像模式

• WaterPlume喷泉式探头确保产品干燥,防止污染(D9600Z)

• 可装载单个或两个WaterPlume喷泉式探头(D9600Z)

• WaterPlume喷泉式固定架基于IGBT power功率模块设计，防止水花飞溅(D9600Z)

• 集成空气干燥器在扫描完成后干燥产品遇水部分(D9600Z)