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美国Ferrotec Temescal 公司电子束蒸发镀膜系统FC/BCD-2800
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美国Ferrotec Temescal 公司电子束蒸发镀膜系统FC/BCD-2800

FC-2800和BCD-2800中型生产设备或大尺寸晶圆研发用设备

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    陕西 西安 雁塔区 南二环东段22号凯森盛世1号广场A座2107
产品特性:真空加工定制:是品牌:美国Ferrotec Temescal
型号:FC/BCD-2800用途:蒸发沉积各种金属和介质

Temescal系统是为更高效率、高精准镀膜产能而设计的生产型设备。这个指导原则支配着Temescal整个产品线的设计思想。Temescal***系列系统符合人性化设计,具备强大生产能力和高均匀性。
 
FC-2800和BCD-2800是适合洁净室使用的镀膜机,具有高效生产的特点。它们的源基间距可选34”(866mm) 或者42”(1067mm),适合lift-off工艺。这两款系统都可以配置成独立机台或者穿墙式洁净室安装,都支持镀膜源、材料进给、加热、清洗等附件的各种组合。




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