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德国PINKV80-G 低压微波等离子清洗机
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德国PINKV80-G 低压微波等离子清洗机

产品标签  | 低压微波等离子清洗机 清洗机 等离子清洗机 创世杰科技 等离子清洗机设备

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德国PINKV80-G 低压微波等离子清洗机

低压等离子系统V80-G适合清洗、激活以及刻蚀的标准系统

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      陕西 西安 雁塔区 南二环东段22号凯森盛世1号广场A座2107
    详细信息
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    产品特性：低压加工定制：是品牌：德国PINK
    型号：V80-G用途：半导体材料表面有机玷污物去除别名：微波等离子清洗机
    规格：外形尺寸 ：W400mmxD460mmxH430mm

    技术规格

    外形尺寸：                      W630×H1850×D900mm

    腔体内部尺寸：               W400×H430×D460mm

    等离子激发频率：            微波，2.45GHz

    微波功率:                         100W到1200W可调

    MFC控制的工艺气路：     2路

    电源：                             230/400V，50/60Hz

    功率：                             2.2kVA

    控制单元：                       触屏PLC控制器

    真空规管：                       Pirani

    重量：                              350KG

    主要应用：                       半导体材料表面有机玷污物去除和表面活性增强

    选项配置：

    • 真空泵

    • 臭氧过滤器

    • 再增加最多2路工艺气路

    • 适合散料的旋转鼓型载具

    • 旋转工作台

    • 推拉门

    • 其他等离子激发频率（40Khz,13.56Mhz)

    • 自动门

    • 软启动和满速气体填充

    • 侧面安装的微波源





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